本实用新型为一种微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置，包括谐振腔体，谐振腔体由上圆筒形腔体、中间圆弧形腔体和下圆筒形腔体构成，中间圆弧形腔体的曲率半径等于微波波长；上圆筒形腔体顶盖上设有反应气体入口以及安装有石英钟罩介质窗口和同轴探针...

本发明为一种微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置，包括谐振腔体，谐振腔体由上圆筒形腔体、中间圆弧形腔体和下圆筒形腔体构成，中间圆弧形腔体的曲率半径等于微波波长；上圆筒形腔体顶盖上设有反应气体入口以及安装有石英钟罩介质窗口和同轴探针天线...