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于尔根H维尔纳专利技术
于尔根H维尔纳共有1项专利
用线性聚焦的激光束对固体进行激光掺杂以及基于所述方法制造太阳能电池发射极技术
在一种根据本发明的激光掺杂方法中,首先使包含掺杂物的介质与固体的表面形成接触。然后,通过激光脉冲的照射短时融化固体的在与介质接触的表面下的区域,使得掺杂物扩散进熔化的区域中并且在熔化区域冷却期间使熔融区域结晶。激光束以线性焦点聚焦在固体...
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