本发明公开了半导体清洗设备框架结构件焊接定位方法及系统，涉及自动化控制领域，包括：通过三维点云扫描毛坯件的原生基准特征，在非关键区域加工辅助基准孔；利用标准校准件初始化定位平台参数后，将毛坯件置于平台，通过扫描基准特征获取实际姿态数据并...