本技术公开了一种抛光液过滤装置，包括立管、端盖、塞座、塞头、翼板和顶杆。该抛光液过滤装置，管的顶端上方设有连接管，立管的底端螺纹连接有端盖，立管的内壁固定连接有塞座，塞座的上方设有与其相适配的塞头，塞头的侧壁圆周固定连接有翼板，翼板的设...

本技术涉及蚀刻液过滤加工设备技术领域，公开了一种蚀刻液多级过滤装置，包括箱体和多个收集盒，所述箱体的上端中部设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端套设有主动轮，所述主动轮的外部套设有传动带，所述传动带的内部两侧均套设有从动轮，两个所述从动...

本发明公开了一种氧化铈纳米颗粒的合成方法及其应用于浅沟槽隔离(STI)的化学机械抛光(CMP)的组合物，所述组合物包括：氧化铈纳米颗粒、有机添加剂及超纯水。本发明公开的CeO2纳米颗粒的合成方法是首先通过沉淀法制备前驱体，然后用熔盐法进...

本实用新型涉及取样器技术领域，具体公开了一种化学试剂取样器，包括基座、吸耳球、固接在基座上的支撑架，支撑架上对称设有滑轨，滑轨均竖直设置，滑轨上滑动连接有用于固定移液管的固定组件，固定组件包括对称设置并分别与滑轨滑动连接的滑块和固接在滑...

本实用新型涉及化学试剂瓶存储技术领域，具体公开了一种化学试剂存储架。包括支架本体，支架本体内设有若干存储腔，存储腔内均转动设有若干放置组件，放置组件包括转动设置在存储腔底面的支撑盘以及设置在支撑盘表面放置试剂瓶掉落的限位槽，存储腔顶面设...

本实用新型涉及电子材料制备设备技术领域，具体公开了一种电子材料干燥装置，包括底板、设于底板上的干燥仓和热气泵，热气泵的进气端设有换热管，热气泵的出气端伸入干燥仓底部，干燥仓顶部侧壁和底部侧壁分别设有进料口和出料口，干燥仓顶部设有排气管，...