本发明涉及一种包括接触层的CMOS‑MEMS集成装置及制造方法，其是一种用于形成MEMS装置的方法。该MEMS装置包括MEMS衬底及底座衬底。该MEMS衬底包括操作层、装置层及介于之间的绝缘层。本方法包括下列循序步骤：在该装置层上提供隔...

揭露一种用来制备半导体晶圆的方法和系统。在第一态样中，该方法包含：在该半导体晶圆上的图案化顶部金属上方设置钝化层；使用第一掩膜蚀刻该钝化层，以在该半导体晶圆中开启接合垫；在该半导体晶圆上沉积保护层；使用第二掩膜图案化该保护层；以及使用第...

本发明涉及一种膜致介面粗糙化及其制造方法，各种实施例提供用于粗糙化MEMS装置的表面或CMOS表面的表面的方法。第一材料在由第二材料作成的表面上沉积形成薄层。加热后，该第一和第二材料可以部分熔化和相互扩散，形成合金。然后，移除该第一材料...

本申请关于包含非周边弹性件的微机电系统声响传感器。该声响传感器包含背板和隔板。该声响传感器还包含弹性件以及设置在该背板和该隔板之间的选择性间隔件，使得该背板和该隔板之间有间隙。该间隙可响应于依据该弹性件的设计而作用在该隔板上的冲击压力而...

本发明涉及常开模式操作的智能传感器，是关于在传感器包装件中包括微机电系统(MEMS)传感器和数字信号处理器(DSP)的智能传感器。例示的智能传感器可包括容置在包括基板看盖子以及包装件基板的MEMS声响传感器或麦克风和DSP，其中该包装件...

一种集成MEMS装置，包括两个基底，其中该第一和第二基底被联接在一起并且在其间具有两个闭合空间。该第一和第二基底之一包括一个除气源层和一个除气阻挡层以便调节这两个闭合空间内的压力。该方法包括在基底上沉积并且构图除气源层和第一除气阻挡层，...

本申请涉及用于集成装置的释放化学物质保护，其提供保护CMOS层免于暴露于释放化学物质的系统和方法。该释放化学物质被用于释放与CMOS晶圆集成的微机电(MEMS)装置。在互补金属氧化物半导体(CMOS)晶圆中创建的钝化开口的侧壁暴露出该C...

本申请涉及晶片封装环境中制作AI/GE键合的方法及由其生产的产品。一种通过铝锗键合(110)进行第一MEMS衬底(102)与第二CMOS衬底(104)之间的键合以形成坚固的电及机械触点的方法，所述第一MEMS衬底(102)包括至少一个经...

一种陀螺仪系统包括耦接于一个驱动系统和一个感测系统的一个MEMS陀螺仪。该驱动系统将该MEMS陀螺仪维持在振荡状态并且该感测系统用于接收、放大以及解调该MEMS陀螺仪的指示旋转速率的一个输出信号。该陀螺仪系统进一步包括一个锁相环(PLL...

本申请涉及晶片封装环境中制作AI/GE键合的方法及由其生产的产品。一种通过铝锗键合(110)进行第一MEMS衬底(102)与第二CMOS衬底(104)之间的键合以形成坚固的电及机械触点的方法，所述第一MEMS衬底(102)包括至少一个经...

在此披露了一种用于测量结构的位移的方法和系统。该方法和系统包括提供一个第一电容以及提供一个第二电容。该第一和第二电容共享一个公共端子。该方法和系统进一步包括当该结构被移位时，确定该第一和第二电容的值的倒数的差。该第一电容与该结构的该位移...

在此披露了一种用于形成MEMS器件的致动器层的方法。该方法包括对致动器层进行蚀刻并且在蚀刻之后对致动器层进行退火处理以减少MEMS器件的表面粗糙度。

本发明涉及一种具有解耦驱动系统的MEMS传感器。在第一方面，角速率传感器包括基板和锚定到该基板的旋转结构。该角速率传感器还包括锚定到该基板的驱动质量和耦合该驱动质量和该旋转结构的元件。该角速率传感器还包括致动器，该致动器用于驱动该驱动质...

在此披露了一种MEMS器件。该MEMS器件包括：一个带有一个第一表面和一个第二表面的第一极板；以及一个附接到一个第一衬底上的锚点。该MEMS器件进一步包括一个带有一个第三表面和一个第四表面的附接到该第一极板上的第二极板。一个连接机构将该...

披露了用于修改弹簧质量构型的多个实施例，这些实施例将不想要的非线性运动对MEMS传感器的影响最小化。这些修改包括以下任何各项中的任一项或任何组合：在该弹簧质量构型的多个旋转结构之间提供一个刚性元件、在这些旋转结构之间调谐一个弹簧系统并且...

本发明涉及具有红外线吸收结构层的氮化铝装置，揭露一种微机电系统装置，其包含第一硅基板，该第一硅基板包含：操作层，该操作层包含第一表面和第二表面，该第二表面包含腔孔；绝缘层，沉积在该操作层的该第二表面上方；装置层，具有第三表面和第四表面，...

披露了一种传感器。该传感器包括一个基底和至少两个检测质量块。该传感器还包括在该至少两个检测质量块与该基底之间的一个柔性联接器。该至少两个联接的检测质量块响应于该传感器的加速度而垂直于该基底的平面沿逆相方向进行移动。

本发明披露了一种用于生成多个地点签名的装置、方法和计算机可读介质。该方法包括以初始位置播种装置以及利用惯性定位系统传播用户位置以及生成地点签名。

一种系统和方法针对使用所建立的背景的公共控制单元控制多个设备。更具体地，该系统和方法针对使用公共控制单元控制多个设备，如对所建立的背景的活动进行控制的可穿戴设备。该控制单元可以控制多个设备，其中，针对具体情形或背景，如做手势的控制活动能...

披露了一种可编程声传感器。该可编程声传感器包括一个MEMS换能器和一个与该MEMS换能器耦合的可编程电路。该可编程电路包括一个电源引脚和一个接地引脚。该可编程声传感器还包括一个使能在该可编程电路和一个主机系统之间进行数据交换的通信信道。...