本发明涉及一种用于测量链的可重复性和可再现性的改进检查，特别是用于借助于半导体器件测试的质量控制的方法，其中，针对将通过测量系统而经受测量的多个且不同的器件提供测试步骤，所述测量系统包括在测试设备（ＡＴＥ）与将经受测量的每个器件之间的测...