本发明属于半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种单轴结构的控温偏压旋转底座，包括，腔室；晶圆台，设置在腔室内；晶圆台下底座，与晶圆台传动连接，晶圆台下底座带动晶圆台在腔室内转动；升降驱动装置，活动端与晶圆台下底座的固定端固接，升降驱动装置...