本发明的目的在于提供一种能够缩短在在线沉积系统中被连续带入腔室的基板和基板之间的间距的掩模框架。并且，能够应用于在线水平沉积系统以及在线垂直沉积系统。根据目的，本发明的掩模框架的一侧边的端部形成有平坦部或者向布置有基板的内侧凹陷的凹陷部...

本实用新型涉及一种粘合卡盘部件以及基板卡紧系统，所述粘合卡盘部件利用在显示器、半导体等的制造工序中支撑以及固定大面积基板的粘合剂，在应用现有的并未图案化的一般粘合层的大面积粘合卡盘应用图案化的粘合层或者具有任意形态的结构的粘合层的粘合剂...

本发明涉及一种粘合卡盘部件及其的图案形成方法、基板卡紧方法及系统，所述粘合卡盘部件利用在显示器、半导体等的制造工序中支撑以及固定大面积基板的粘合剂，在应用现有的并未图案化的一般粘合层的大面积粘合卡盘应用图案化的粘合层或者具有任意形态的结...

本发明公开一种基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统，其旨在提供更加简化的卡定方法及卡定系统，尤其提供一种可稳定地卡定所述基板并易于解卡定的新型卡定方法及卡定系统。为此，使基板与卡盘板的导电板携带极性相反的电荷，从而使强力的静电引力波...