可以使用液体射流和机械旋转工具的组合来在厚衬底中机加工精密微孔。可以使用液体射流引导的激光以将芯孔快速地钻削至该陶瓷衬底中。可以应用传感器来检测该液体射流引导的激光钻削步骤的切穿点，以实现快速并且闭环控制的机加工工艺。该衬底可以被加热以...

本实用新型公开了一种当激光加工材料时保持工件表面没有液体积聚的系统。包括用于发射激光束的激光器；液体喷嘴组件；喷嘴组件被配置成连接到液体供给线以形成液体射流；用于将激光束与液体射流耦合的光学元件；空气喷射模块；所述空气喷射模块联接到所述...

本发明公开了一种当使用液体喷射引导激光束时能保持工作表面干燥的方法和系统。包括用于发射激光束的激光器；液体喷嘴组件；喷嘴组件被配置成连接到液体供给线以形成液体射流；用于将激光束与液体射流耦合的光学元件；空气喷射模块；所述空气喷射模块联接...