本发明提供具有包含致密材质的靶材、通过降低钎料的使用量，能够稳定地进行成膜操作并且制造成本廉价的溅射靶材。一种溅射靶材1，其为在圆筒型的基材2的表面介由钎料3设置有靶材4的溅射靶材，靶材4为孔隙率为1.5％以下的致密材质，钎料3的厚度为...