本发明提供了一种应用声波元件即时量测薄膜厚度的系统，包含至少一具薄膜的载体，薄膜具一薄膜厚度；至少一声波单元，设于载体的周侧并实时侦测薄膜厚度的变化而产生一谐振频率；一计算单元接收及处理声波元件侦测产生的谐振频率。计算单元由薄膜厚度及谐...

一种声波共振器，界定有一共振优选区，该共振优选区一基板、一缓冲薄膜、一反射结构、一下电极、一结晶薄膜以及一上电极相互堆叠，且该缓冲薄膜包含一平坦区重叠于该共振优选区，该平坦区的表面一粗糙度低于5nm以下。