本发明涉及硅晶片制备装置技术领域，公开了电源芯片生产用硅晶片正性光致抗蚀剂蚀刻设备及工艺，通过温度传感器的设置能够对抗蚀剂进行温度检测，当温度过低时加热丝开始对抗蚀剂进行加热，增强了抗蚀剂本身的活性，从而使得喷出的抗蚀剂能够夹块硅晶片蚀...