本申请公开了一种微机械结构器件、方法以及传感器，该器件包括具有器件区和密封区的衬底，密封区围绕设置于器件区外。释放层形成于密封区的一侧。至少一组谐振组件形成于器件区的一侧，并与释放层之间具有间距。信号端子形成于器件区的一侧，信号端子与释...

本申请公开了一种微机械系统谐振器以及传感器，该微机械系统谐振器包括衬底、输入信号端子、输出信号端子和多个谐振组件；每个谐振组件包括固定电极，设置于衬底上；振动电极，平行且悬空设置于固定电极远离衬底的一侧上方，所述电极在所述衬底上的正投影...

本申请公开了一种微机械结构器件、制作方法以及传感器，该器件包括晶圆组件、第二晶片和封装层。第一晶片包括支撑结构和至少一组微机械谐振结构，支撑结构远离衬底硅片的一侧与第二晶片的凹槽一侧键合，至少一组微机械谐振结构分别与凹槽和衬底硅片之间具...