一种示例系统，包括传感器。该传感器包括具有基底电极的基底以及悬在该基底上方的第一膜。第一膜包括第一膜电极。第一膜被配置为响应于环境条件而相对于基底电极偏转。传感器可操作以测量基底电极与第一膜电极之间的电容。该系统还包括第一导电屏蔽层，该...

超声波流量计包括：第一换能器(11)和第二换能器(12)、包括可变阻抗的第一阻抗电路(41)和第二阻抗电路(42)、经由第一阻抗电路(41)和第二阻抗电路(42)耦合到第一换能器(11)和第二换能器(12)的第一端子(13)和第二端子(...

一种传感器装置(10)包括传感器管芯(11)、内插器(12)和支撑件(13)。传感器管芯(11)包括接触区域(14)、悬置区域(15)和位于悬置区域(15)中的敏感元件(16)。内插器(12)包括将内插器(12)的第一侧(46)连接到内...

一种应变测量电路(10)包括布置在衬底(30)上的多个延迟元件(110a、

本文公开了一种对组合物进行退火以制备用于传感器的膜的方法，所述组合物包含至少一种金属氧化物材料，所述方法包括：将组合物沉积在基板的一侧；在组合物附近提供电磁辐射源；将组合物的表面暴露于第一剂量的电磁辐射中，其中第一剂量包括诱导组合物退火...

一种传感器设备(1)，包括第一传感器(2)和第二传感器(3)，其中，第一传感器(2)包括配置为以可控方式加热第一传感器(2)的加热元件(4)。此外，第二传感器(3)热耦合到第一传感器(2)，特别是热耦合到加热元件(4)，使得加热元件(4...

一种传感器(10)，其可操作以测量臭氧浓度，并且包括：内壳体(16)，其设置在外壳体(13)的内部(14)中；臭氧感测部件(11)，其设置在内壳体(16)的内部(17)中；臭氧改变部件(12)，其设置在外壳体(13)的内部(14)中；衬...

一种sigma‑delta模数转换器，包括连接到积分节点(120)的第一和第二注入支路(101,102)以及第一和第二反馈支路(121,122)。第一和第二注入支路配置为根据从差分电压信号、电容相关信号和电流相关信号中选择的不同输入量提...

一种检测飞行时间信号的方法，包括以下步骤。首先，通过介质发射信号串。所发射的信号串包括第一组波的或第一组波周期的和第二组波的或第二组波周期的序列。所述组根据预定的相移在时域中被移位。所发射的信号串作为接收的信号串并且作为时间的函数被接收...

一种制造半导体换能器装置的方法，该方法包括提供半导体主体(1)、在半导体主体(1)的表面上方形成牺牲层(5)、在牺牲层(5)上施加膜片(10)、以及通过将蚀刻剂引入到膜片(10)的开口(11)中来去除牺牲层(5)。施加膜片(10)包括施...

一种基于电热的设备，其包括加热器(11)、读出电路(14)、数字控制器(16)和数字sigma‑delta调制器(19)，该数字控制器的第一输入(17)耦接到读出电路(14)的第一输出(18)，该数字sigma‑delta调制器的第一输...

一种气体感测装置，包括：衬底，其包括蚀刻腔体部分和衬底部分；电介质层，其设置在衬底上，其中，该电介质层包括电介质膜，其中，该电介质膜与衬底的蚀刻腔体部分相邻；加热器，其位于电介质层内；用于感测气体的材料；以及一个或更多个多晶硅电极，其与...

半导体换能器装置包括悬置在半导体本体(1)上方的膜片(10)。所述膜片(10)的第一层(9)包括耐蚀刻剂的材料，所述蚀刻剂包括氟或氟化合物，并且所述第一层覆盖包括钛和/或TiN的第二层(8)。因此所述第一层(9)充当保护层并且防止在使用...

一种用于制造集成微机电系统MEMS换能器设备的方法，该方法包括向衬底主体(1)提供表面、在该表面上沉积蚀刻停止层ESL(8)、在该ESL(8)上沉积牺牲层(3)、在该牺牲层(3)上沉积隔膜层(6)、以及去除牺牲层(3)。沉积牺牲层(3)...

一种用于控制电流产生的电路装置(10)，包括电流发生器电路(100)，该电流发生器电路包括多个输出电流路径(P1，

在实施例中，一种用于温度感测的方法包括以下步骤：馈送包括物体的温度的第一值的模拟信号(Sin)；使用第一模数转换器(ADC)(10)执行步骤一(S1)的模拟信号的模数转换，并且据此提供表示初始数字温度值的第一数字信号(Soutl)；使用...

温度传感器包括：具有特定比率的第一二极管和第二二极管(bip

一种传感器装置(10)，包括：压力传感器(12)，其实现为电容式压力传感器；电容至数字转换器(13)，其耦接至压力传感器(12)并实现为delta‑sigma模拟至数字转换器；以及参考电压发生器(32)，其具有用于接收控制信号(SC)的...

一种传感器装置(10)，包括：压力传感器(12)、电容至数字转换器(13)、测试电路(14)以及开关电路(15)，该压力传感器被实现为电容式压力传感器，该开关电路将电容至数字转换器(13)和测试电路(14)耦接至压力传感器(12)。

一种示例系统，包括传感器。该传感器包括具有基底电极的基底以及悬在该基底上方的第一膜。第一膜包括第一膜电极。第一膜被配置为响应于环境条件而相对于基底电极偏转。传感器可操作以测量基底电极与第一膜电极之间的电容。该系统还包括第一导电屏蔽层，该...