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肖德元专利技术
肖德元共有1项专利
一种超导场效应晶体管、其制作方法及应用方法技术
本发明提供一种超导场效应晶体管、其制作方法及应用方法,于绝缘体上半导体衬底形成超导体源极、超导体漏极、位于所述超导体源极与超导体漏极之间的沟道区、以及栅极结构,其中,所述沟道区、超导体源极、及超导体漏极的掺杂导电类型相同。本发明可通过控...
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