本发明公开了一种AlN/ZrN纳米多层膜制备工艺，采用脉冲电源溅射Zr靶与Al靶，在N2/Ar混合气体中反应溅射获得AlN层与ZrN层，通过改变各靶溅射功率和基体在靶前停留时间获得AlN/ZrN纳米多层膜。本发明采用脉冲发应磁控溅射，通...

本发明公开了一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜及其制备工艺，所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜是由纳米晶ZrN和ZrO2组成的纳米薄膜。所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜的氧化温度为1000℃以上。其制备工...

一种霍尔源激励磁控溅射增强型磁过滤多弧离子复合镀膜方法，本方法包括以下步骤：抽真空及加热；离子轰击；镀膜。通过该方法突破了传统的技术难题，通过弧电流大小的控制、靶的合理设计及完善的工艺过程实现膜层的高硬度、高致密性，实现并保证薄膜材料与...

本发明公开了一种汽车变速箱齿轮刀具表面制备ＴｉＮｘ膜层的工艺，该工艺采用霍尔源激励磁控溅射增强型磁过滤多弧离子镀膜设备，在汽车变速箱齿轮刀具表面制备ＴｉＮｘ膜层，采用本发明的工艺在汽车变速箱齿轮刀具表面获得的ＴｉＮｘ薄膜，经检测，薄膜厚...