本技术的多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器包括：至少一个反应室；以及多个细丝组件，其沿着以反应室的中心为圆心的圆周布置；每个细丝组件包括：细丝，其包括一对垂直部分和将一对垂直部分顶部水平连接的桥，一对垂直部分的底部分别连接到一对电极，...