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香岳实业股份有限公司专利技术
香岳实业股份有限公司共有1项专利
用于设备前端模块的气流加热模块制造技术
本实用新型提供一种用于设备前端模块的气流加热模块,该气流加热模块包含第一孔洞板,其包含用以作为气流入口的复数第一孔洞;第二孔洞板,其包含用以作为气流出口的复数第二孔洞;及加热组件,其是设置于该第一孔洞板与该第二孔洞板之间,且包含复数加热...
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