西安福科材料科技有限公司专利技术
西安福科材料科技有限公司共有1项专利
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本发明提供一种用于电子测试探针的耐磨导电多层复合薄膜及其工业制备方法：1)将探针清洗干净，放置于转笼内；2)用电弧离子真空气相沉积方法制备Ti界面层；3)继续沉积TiN薄膜；3)在沉积的TiN薄膜之上继续沉积Ti界面层；4)继续沉积一层...
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