本技术提供了一种带防尘罩的直线电机，包括定子组、动子以及一对防尘罩；一对防尘罩分别对应设置于动子的上端面与下端面，防尘罩包括平面段以及位于平面段两端的伸缩段，平面段固设于动子的上下端面；两伸缩段分别固设于第一定子和第二定子的前后两端。通...

本申请提供了一种等离子体刻蚀终点的检测方法。该方法包括：在刻蚀过程中，实时采集反应产物的第一特征谱线和反应气体的第二特征谱线，其中，第一特征谱线为反应产物的发射光谱线，第二特征谱线为反应气体的发射光谱线；根据第一特征谱线与第二特征谱线之...

本发明提供一种立式扩散炉管装置，属于半导体设备领域，包括外管、内管和气体换向模组、第一气管、第二气管，气体换向模组用于切换第一气管、第二气管与均气室、排气室之间的反应气体流向，本方案通过气体换向模组，并配合气泵的气压定向控制实现反应气体...