本发明公开了一种半导体制造事件的异常控制方法以及系统，本发明涉及异常控制方法的技术领域，根据各个查询路径的检测而确定查询匹配系数，基于各个查询匹配系数、半导体的待查询内容和半导体加工数据库确定查询体系；根据查询体系的识别而确定不同维度的...

本发明公开了一种半导体加工事件的分析方法以及系统，本发明涉及事件分析方法的技术领域，根据多个半导体加工节点的节点位置和预设的半导体加工需求确定半导体加工顺序；根据该半导体加工顺序、各个半导体加工节点所对应的半导体加工任务和节点状态预测对...

本发明公开了一种半导体晶圆多源缺陷数据的相关性分析方法，涉及半导体制造中晶圆缺陷检测技术领域。针对现有技术中多源缺陷数据类型不统一、跨参数关联困难、重复记录处理不当及相似度算法单一的痛点，本发明实现多类型缺陷数据的统一适配、重复数据完整...

本发明公开了一种面向专业领域文档差异化的对话建模与多阶段微调方法，属于人工智能与自然语言处理技术领域，针对专业领域文档进行数据处理与模型微调，所述方法包括数据解析与预处理、差异化数据构建、多阶段模型微调、模型评测与优化四大步骤：先收集分...

本发明公开了一种基于多视图分析的晶圆缺陷检测方法，属于半导体检测技术领域，包括以下步骤：步骤S1，获取晶圆同一检测区域的缺陷视图与参照视图，缺陷视图用于后续缺陷类型识别，参照视图表征该检测区域无缺陷时的标准背景图案；步骤S2，分别对缺陷...

本发明公开了基于LLM与检索增强的半导体工厂故障溯因方法及系统，属于半导体制造与智能排障领域，目的在于解决半导体工厂历史工艺及缺陷报告字段不统一、检索方式单一且准确率低、故障溯因结果缺乏因果推理与解释性的问题。首先通过大语言模型与规则、...

本发明公开基于结构化索引与工具调度的智能文档理解系统及方法，属于人工智能与自然语言处理领域，解决现有技术结构化索引浅、工具调度缺、无意图驱动的问题。系统包含文档解析模块、信息存储模块、意图分析模块、工具调度模块、工具执行模块、LLM融合...

本发明公开了基于多模态与图像分类模型的晶圆缺陷检测系统及方法，涉及半导体制造检测技术领域。系统包括物体识别模块、缺陷识别模块及后处理模块，物体识别模块通过大视觉分割模型和图像‑文本对齐模型获取物体特征向量及位置；缺陷识别模块通过图像分类...

本发明公开了基于参照视图和深度学习的晶圆缺陷检测方法和系统。该方法包括以下步骤：构建训练数据集；使用缺陷视图训练深度学习模型；采集缺陷视图及对应的参照视图；将缺陷视图输入缺陷检测模型提取第一特征向量，将参照视图输入特征编码器提取第二特征...

一种具有状态回滚机制的GUI自动化数据分析方法及系统，本发明属于GUI自动化与工业数据分析交叉技术领域，该系统主要包括初始化模块、状态检测与操作执行模块、回退与重试模块。系统首先通过系统初始化部署LAM识别模块与界面元素库，初始化Vue...

本发明公开了一种半导体领域知识驱动的Agent任务规划与工作流生成方法，涉及人工智能与半导体制造交叉技术领域。该方法针对现有技术中半导体数据分析任务缺乏领域知识支撑、工作流生成稳定性差、执行环节不可控的问题，采用Task‑Planner...

本发明公开了一种基于DAG的Agent并行工业数据工作流方法，属于工业数据分析技术领域。该方法获取用户自然语言分析需求，经Task‑Planner转化为节点表子任务、路径表依赖链路的DAG结构；在提示约束下，LLM按拓扑顺序逐层生成含子...

本发明公开了一种基于根因分析的工业数据的检验方法以及系统，本发明涉及工业数据的检验方法的技术领域，基于已优化的数据组合的识别而确定多个工业数据特征；根据多个工业数据特征、对应的数据分布特性和数据离散特征确定对应的自适应检验模式，提高了自...

本发明公开了一种基于大语言模型的文档问答助理系统及实现方法，所述系统包括：系统信息存储模块存储用户账户与权限并实现多用户数据隔离；文档信息存储模块通过多数据库协同策略，将文档原始内容、元信息、摘要与目录分层存储；用户历史记录模块和用户行...

本发明公开了面向半导体的语义图谱构建及自然语言查询方法及系统，属于自然语言处理领域。本发明的方法包括：离线构建语义图谱，通过提取半导体产线数据库元数据映射为图谱骨架，结合领域数据创建Data节点增强；在线解析自然语言问题，提取实体链接至...