本发明公开了一种三轴一体精密运动平台，包括底板，底板顶部设置有X轴调节组件，X轴调节组件上设置有中板，中板上设置有Y轴调节组件，Y轴调节组件上设置有上板，底板上设置有用于对中板支撑导向的导向组件，凹型架内部设置有用于对方形架位置调节的调...

本发明公开了一种三轴螺旋扫描运动控制系统，本发明涉及半导体制造检测装备技术领域，包括运动平台和控制器，所述运动平台用于承载和移动晶圆，所述控制器用于协调运动；所述运动平台包括X轴直线运动模块、Z轴直线运动模块和T轴旋转运动模块。该三轴螺...