本申请公开了晶圆翻转装置，包括晶圆夹紧机构，设于所述安装架上，用于夹在晶圆的边缘并带动晶圆翻转；晶圆翻转机构，与所述晶圆夹紧机构相关联，用于驱动所述晶圆夹紧机构旋转以翻转被夹持的晶圆；晶圆缓存机构，设置于所述安装架上，用于接收和暂存来自...