本发明涉及真空测量与分析领域，公开了一种用于RGA的新型离子源结构。本发明中，离子发射组件为钨灯丝，且钨灯丝两端通过陶瓷绝缘子固定于离子源腔体侧壁，聚焦加速组件包括依次同轴设置的透镜电极、引出电极，气体导入组件为石英毛细管，气体导入组件...