本发明涉及真空腔体测试技术领域，公开一种用于远端等离子模块的腔体真空测试装置及方法，其中，一种用于远端等离子模块的腔体真空测试装置，包括测试机主体，设置于测试机主体外侧的电机，还包括设置于测试机主体工作台面顶部的检测机构；检测机构包括设...