本发明实施例公开了一种高精度晶圆定位方法，包括：预先通过控制平移机构驱动图像采集装置采集的图像数据标定图像机械坐标仿射矩阵M；预先控制旋转平台依次旋转至第一角度θ1和第二角度θ2；控制平移机构驱动图像采集装置依次对准旋转平台的标定圆，并...