无锡墨诺半导体科技有限公司无锡费曼科技有限公司专利技术

无锡墨诺半导体科技有限公司无锡费曼科技有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及石墨烯生长技术领域,且公开了一种基于双重冷却控温的石墨烯喷火炉,包括由支架支撑的炉体和石墨烯生长石英腔体,所述炉体的左右两端口均安装有封闭法兰盘,石墨烯生长石英腔体通过两个法兰盘贯穿炉体,石墨烯生长石英腔体的两端通过定位架支撑...
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