本发明涉及高分子材料技术领域，且公开了一种晶圆搬运摩擦垫及表面处理方法，包括以下重量组分：65‑75重量份的甲基乙烯基硅橡胶、2‑4重量份的苯基乙烯基硅油、3‑5重量份的有机硅修饰聚氨酯、2‑3.6重量份的滑石粉、1‑2重量份的含氟助剂...

本发明涉及高分子材料技术领域，且公开了一种防静电晶圆搬运摩擦垫材料制备及应用，包括以下重量组分：60‑70重量份的甲基硅橡胶、2‑3重量份的改性石墨烯、1‑3重量份的防静电剂、0.3‑0.5重量份的抗氧剂1010。本发明通过将改性石墨烯...