无锡财盈半导体有限公司专利技术

无锡财盈半导体有限公司共有1项专利

  • 本申请实施例涉及检测,公开了一种基于辉光光斑特性的等离子体发生器解离率检测方法,包括:获取标准样机的等离子体启辉过程中产生的样机光斑数据;响应待测等离子体发生器的开启信号,获取其等离子体启辉过程中产生的光信号,基于光信号生成待测机光斑数...
1