本发明公开一种溅射电源控制系统以及控制方法，涉及电源技术领域，为解决起弧放电对电源输出的影响。本发明提供一种溅射电源控制系统，包括单片机、第一比较器、图腾柱驱动电路、并联的两个碳化硅开关管、第二比较器、电流采样电阻以及第二高速光耦。其中...