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吴来发专利技术
吴来发共有1项专利
高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制制造方法及图纸
本发明是一种制备高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制,属于电子气体制备纯化技术领域;该方法包括步骤(1)、粗制磷烷的制备过程:先用亚磷酸加热反应得到粗制磷烷;和(2)、高纯磷烷的纯化过程:对粗制磷烷采用液氮冷阱低温真空分离、分子筛吸附...
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