本技术公开了一种半导体快速退火炉结构，涉及退火炉结构技术领域，包括退火炉机构，所述退火炉机构包括炉体，所述炉体侧面安装有炉门，且炉体内部固定连接有放置架，且炉体内壁表面安装有加热组件，所述退火炉机构侧面设置有真空泵。本技术，通过真空泵在...