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武汉铂岩科技有限公司专利技术
武汉铂岩科技有限公司共有1项专利
一种金属铝基氮化铝封装基板及其制备方法技术
本发明公开了一种金属铝基氮化铝封装基板及其制备方法,属于微电子材料领域。该封装基板包括一金属铝基底,在金属铝基底表面形成的多孔型阳极氧化铝膜,和在阳极氧化铝膜表面形成的氮化铝薄膜,其中阳极氧化铝膜的孔隙率由金属铝基底到氮化铝薄膜方向逐渐...
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