用于形成有序波形纳米结构的方法，该方法在于：用均匀分子氮离子Ｎ↓［２］↑［＋］流溅射半导体材料，直到在材料表面形成所述纳米结构的波峰方向垂直于离子入射平面的周期性波形纳米结构；为了增长纳米结构波幅，用Ｏ↓［２］↑［＋］离子流在与Ｎ↓［２...