本发明是将氧化锌纳米棒阵列与微电机结构相结合，利用氧化锌纳米棒受力弯曲变形所产生压电效应，将作用在微电机结构上的机械振动能转换成电能，构成交流纳米发电机。再利用串联多个这种发电机或二极管－电容升压装置，将微小电压升高至一定的电压。本发明...

本发明是将氧化锌纳米棒与微电机（ＭＥＭＳ）结构相结合，利用氧化锌纳米棒受力弯曲变形所产生压电效应和微电机中某部分能与另外部分产生相对运动，将振动机械能转换成电信号，达到振动传感的目的。与传统的振动传感器相比，其特点是体积小（在微米量级）...