本发明公开了一种三维光子晶体的四质量光机电三轴陀螺仪及其加工方法，该陀螺仪由由上至下依次包括玻璃盖帽、器件层和玻璃衬底，玻璃盖帽和玻璃衬底与器件层通过阳极键合；器件层包括支撑外框架、位于所述支撑外框架中心的中心质量块、四个公共质量块、将...