用于评定晶片边缘区域的缺陷的设备和方法及其使用。公开了一种用于评定该晶片（６）的边缘区域中的缺陷的设备。该评定可自动地执行。特别地，该设备包括三个照相机（２５，２６，２７），每个都设置有物镜（３０），其中，第一照相机（２５）被布置成与该...