一种用于制造三层横梁ＭＥＭＳ器件的方法，包括：在衬底上淀积牺牲层（３１０），和移去牺牲层（３１０）上的第一导电层的一部分来形成第一导电微型结构（３１２）；在第一导电微型结构（３１２）、牺牲层（３１０）和衬底（３００）上淀积结构层（３２２...

根据一个实施例，提供一种悬挂在基板上方的可移动ＭＥＭＳ部件。该部件可包括结构层，该结构层具有与基板分开一定间隙的可移动电极。该部件还可包括至少一个支座凸块，该支座凸块固定到结构层上并延伸到所述间隙中，当该部件移动时用于防止可移动电极与导...

提供一种悬挂在基板（１０２）上的活动的、三层微元件（１０８），并且包括第一导电层（１１６），将该第一导电层构图限定活动电极（１１４）。用间隙将基板（１０２）与第一金属层（１１６）分开。微元件（１０８）还包括在第一金属层（１１６）上形成并...