本发明涉及一种薄膜形成设备，即，一种例如在半导体晶片或液晶显示器（ＬＣＤｓ）的生产过程中，用于在衬底上形成多种材料的薄膜的设备。薄膜形成设备包括衬底支撑部和腔，衬底支撑部用于安装上面形成有薄膜的衬底，腔封闭衬底支撑部，并具备适当的操作条...