田晓智专利技术

田晓智共有1项专利

  • 本实用新型公开了一种可以实现一次镀膜的过程中任意选择镀膜面的单、双面镀膜模式切换的过渡装置,它包括固定安装在旋转轴上的底板和基片架轨道,所述旋转轴由旋转驱动电机驱动,所述底板上固定安装有承载基片架轨道的平移导轨,所述平移导轨与基片架轨道...
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