本技术公开了一种光刻机手臂特殊柔性线缆，属于传输构件技术领域，包括设备接头、连接件、插头、连接外壳、第一线束和第二线束，连接件一端连接有第一线束，连接件另一端连接有第二线束，第二线束成对设置，设备接头成对设置，第二线束端部插设在设备接头...

本技术公开了光刻机双频激光干涉仪反射镜调整结构，属于光刻机领域，包括反射镜体和套在反射镜体外侧的镜框，镜框顶部连接有调整组件，镜框底部连接有转盘，转盘外侧活动套设有底座，调整组件包括防护罩，防护罩套在镜框外侧，防护罩顶端通过连接组件与镜...