本发明涉及钻石面碳化硅技术领域，且公开了一种以硅晶圆的原子晶格为模板而在其上生长的钻石膜，介面处硅与钻石原子的比率由100%逐渐减小至约0%，原子比率调整的沉积方法乃用微波等离子体内完成，其硅碳比乃由ALD控制的硅烷比甲烷混入主体的氢气...

本发明涉及碳化硅处理技术领域，且公开了一种钢丝气化加工碳化硅的方法，该方法包括以下步骤：取一八寸SiC晶圆在氢气或氯气气氛中旋转，转速为10RPM，并用钢丝切割，另以一卷对卷的琴钢线压在上述晶圆上逆向移动，速度约1m/min；琴钢线乃穿...

本发明涉及金刚石线锯技术领域，且公开了一种钻石线锯，表面有钻石微粒乃被钎焊金属键合在金属线线上，其特征为钎焊金属内含有钛或铬为活性元素，其钎焊的主要元素为镍或铜，其主线为钨或钼所制成，主线其直径为30至1000微米，线锯，其钻石颗粒的为...