本申请属于半导体技术领域，公开了一种磷硅酸玻璃小球探针的制备方法。该方法包括：通过低压化学气相沉积方法在绝缘体上硅片上制备磷硅酸玻璃薄膜，所述绝缘体上硅片包括由下至上依次排列的硅衬底层、绝缘二氧化硅中间层和单晶硅顶层；通过光刻和干法刻蚀...