太仓莘辉半导体设备制造有限公司专利技术

太仓莘辉半导体设备制造有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及半导体识别技术领域,公开了基于轻量级神经网络的晶圆盒实时识别方法及系统,包括以下步骤:S1、利用光场相机捕获晶圆盒的4D光场数据;S2、通过时间序列光场预测模块,预测晶圆盒的下一帧姿态参数;S3、通过跨模态语义融合模块;S4、...
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