本发明公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长装置，包括：外坩埚；内坩埚，设于外坩埚内，内坩埚包括坩埚体、坩埚盖；中筒，设于外坩埚内且环设于内坩埚外，中筒与外坩埚之间形成第一夹层通道，中筒与内坩埚之间形成第二夹层通道，中筒的底部设置有散气结构；布...