本实用新型公开了一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备，包括箱体、箱门、隔板、过滤机构、水洗机构、除尘机构、收集机构，所述隔板焊接于箱体内壁，且隔板将箱体内部从左到右依次分隔为过滤腔、水洗腔、第一除尘腔、第二除尘腔，水洗腔内部盛放有有...

本实用新型属于过滤装置技术领域，尤其是一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，针对背景技术提出的问题，现提出以下方案，包括内部装有均匀分布的活性炭颗粒的活性炭存储筒，所述活性炭存储筒通过密封圈密封连接有过滤筒，且过滤筒的内壁固定有相适配...

本实用新型属于氦气回收技术领域，尤其是半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置，针对背景技术提出的氦气中的有毒气体难去除的问题，现提出以下方案，包括安装架，所述安装架顶部外壁设置有预警机构，且预警机构包括焊接于安装架顶部外壁上的安...

本实用新型属于氦气回收技术领域，尤其是一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，针对背景技术提出的需要净化有毒气体的问题，现提出以下方案，包括第一净化器，所述第一净化器一侧设置有温控组件，且温控组件包括设置于第一净化器一侧的加热箱、通过...

本实用新型公开了一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体、隔板、支撑板、安装板、干燥板、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，所述隔板、支撑板、安装板、干燥板在箱体内部从下到上依次设置，且隔板、支撑板、安装板、将箱体内部从上到下依次分为第...

本实用新型涉及光刻机领域，尤其是涉及一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，包括降温箱和铰接在降温箱一侧外壁的箱门，所述降温箱的顶部外壁安装有安装架，且安装架中安装有气泵，所述气泵的输出端连接有连接管，且连接管的另一端连接有收集结构，所...

本实用新型公开了半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，涉及晶圆加工技术领域，针对背景技术提出的晶圆烘干装置缺少对氦气的回收净化装置，会造成氦气的浪费，增大了生产成本问题，现提出以下方案，包括烘干装置本体和净化箱体，烘干装置本体的顶部一侧开...

本发明公开了一种半导体生产用含氦气的废气无害化处理方法，包括以下步骤，将废气管道连接到变温吸附器一端，利用真空泵将变温吸附器内抽真空，将含氦气的废气输送到变温吸附器中进行吸附，吸附过程中调节流量阀，使得变温吸附器能够进行完全吸附。本发明...