本发明属于半导体生产行业领域，具体涉及一种模块化设计的晶圆转运机器人，包括执行组件、回转驱动组件和直线驱动组件；执行组件上设置有用于与回转驱动组件连接的接口组件，直线驱动组件包括分别设置于导轨连接板两端的法兰连接板和升降驱动安装板；回转...

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于晶圆搬运机器人的相对位姿校准方法及系统，包括如下步骤：获取机器人中心与待校准晶圆中心的非精确值，通过机器人执行末端的线激光扫描仪获取晶圆及晶圆放置设备的三维点云数据信息，得到晶圆轮廓点云簇；...

本发明公开一种晶圆转运机器人夹爪振动抑制系统与方法，所述系统包括振动控制器和设置于机器人夹爪上的集成阵列，集成阵列由间隔排列的多个振动传感器和多个电致动器组成，所述多个振动传感器共同组成集成阵列的感知部分，用于获取机器人夹爪各点位的振动...