本申请提供一种半导体结构及其制备方法。该制备方法包括：提供形成有阴极的外延结构；在外延结构和所述阴极上形成介质层；去除部分介质层和与该部分介质层对应的预定厚度的外延结构，以形成中断所述外延结构中的二维电子气的阳极凹槽；在阳极凹槽的表面和...

本发明涉及微波电路技术领域，特别公开了一种老化试验装置及能量回收系统，包括射频微波信号发射模组，射频微波信号发射模组包括微波功率放大器，射频微波信号发射模组用于产生射频微波信号；所述射频微波信号用于驱动所述微波功率放大器产生老化试验信号...