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苏州量赛技术有限公司专利技术
苏州量赛技术有限公司共有2项专利
偏振光电探测器芯片及制备方法技术
本发明涉及光电探测器的技术领域,具体提供一种光电探测器芯片及制备方法,旨在解决现有光电探测器芯片难以兼顾高消光比和高透光率的问题。为此目的,本发明提供的光电探测器芯片包括探测器芯片、透镜阵列和偏振片阵列,偏振片阵列包括光栅,光栅具有狭缝...
半导体光电探测器芯片的制备方法及光电探测器芯片技术
本发明涉及光电探测器,具体提供一种化合物半导体光电探测器芯片的制备方法,旨在解决现有光电探测器制备效率低的问题。本发明提供的化合物半导体结构的制备方法包括:提供探测器晶圆,在外延片上形成像元台面以及公共电极台面;于外延片的一侧形成顶电极...
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