本实用新型揭示了用于晶圆检测的DAF膜绷紧装置，包括用于承托晶圆主体的晶圆承托座、用于对外圈框进行压接绷紧的至少两个压接绷紧机构，任意压接绷紧机构包括一个压接端，晶圆承托座上设有用于吸附固定晶圆主体的吸附微孔结构，并且晶圆承托座的外周壁...

本实用新型公开了一种机器用导风结构，用于将控制器的散热风向引导为与机器的进风方向相同，控制器具有散热风口且该控制器设于机器的内部，该机器用导风结构包括导风罩、第一支架和第二支架。导风罩固定于控制器上，该导风罩具有能够与散热风口连通的进风...

本实用新型公开了一种拆装方便的晶圆承载盘，包括母盘和子盘。母盘外周设有第一支耳，母盘表面或第一支耳上设有销孔。子盘外周设有第二支耳且第二支耳上设有与销孔插配的插销；其中，销孔和插销的数量均至少为两个，母盘通过销孔与子盘的插销可拆卸连接。...

本发明揭示了晶圆检测模型构建方法及检测方法，其包括创建检测模型与设备端交互，检测模型包括xml检测模型和曝光区域特征点模型，xml检测模型包括晶圆名称、晶圆尺寸、曝光区域尺寸、有效曝光区域尺寸、晶圆中心与曝光区域相对位置关系、特征点尺寸...

本发明揭示了虚拟交互设备晶圆的检测方法，包括视觉检测设备，视觉检测设备包括晶圆载具、影像采集单元、综合驱动调节单元、影像对比数据库、对比分析单元，包括如下步骤：将晶圆芯片位置数据导入综合驱动调节单元内；驱动实现影像采集单元与晶圆上任意芯...